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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

工程项目底色 该半导体技术手工制造新项目座落在豫东省市,总投资的小于200亿美元,重点制作129英寸晶圆和现代化封口新产品。新项目日排卸废排水量约5000吨,涉及到多个生产工艺废污水,净化进行处理难易大。新项目标准的废污水净化进行处理后提升《电子技术工农业水严重环境有害特性排卸标准的》(GB 39731-2020)格外排卸规定值,大部分回收利用率不小于60%。 生产废水化学物质及來源 含氟废水处理方法:通常出自于晶圆蚀刻、难以清理繁琐流程,氟阴阳离子密度将高达200-500mg/L,pH值冲击大 可挥发废水处理:光刻、显影液、去胶等多种工序导致,COD氨水浓度300-800mg/L,含有异丙醇、异丙醇等可挥发萃取剂 含铜废水处理工艺:镀膜、电化学自动化设备打磨(CMP)制作工序制造,铜阳离子有机废气浓度50-150mg/L 耐酸碱化工废水:机械设备除垢、排放物洗條等部门导致,pH值在2-12两者冲击 粉磨废气:CMP生产工艺制造,含带納米级二防氧化硅小粒 加工技术流量 适用"各类分类整理+分质操作+深度.活性炭过滤"的搭配组合新工艺: 含氟废渣治疗线 : 有级化学上沉淀自己物:先污泥脱水氯化钙调节器pH至6-7,加个入PAC和PAM斜管沉淀自己池沉淀自己物 灵活性阳极氧化铁吸附性:提高认识氟化合物氧浓度降到5mg/L左右 淤泥经板框压滤后授权委托专业课程处里 无机生产废水治疗线 : 微电解法设备预工作:铁碳微电解法设备降解塑料大团伙可挥发物 UASB水解酸化池生理物反应器:HRT=24h,COD除去率>60% MBR膜海洋生物发生反应器:采用了PVDF中空中仟维膜,通量15LMH 含铜焦化废水加工线 : 物理化学石雕文化析出:添加NaOH调节器pH至9-10,行成Cu(OH)2石雕文化析出 阳化合物更换:二级不饱和树脂更换以保证铜阳化合物<0.3mg/L 电解法设备回笼:地方废液经电解法设备回笼金属件铜 总体治疗整体 : 改善池:均衡性饮用水质用水量,设爆气绞拌 水泥混凝土沉淀物中:污泥脱水黏结二沉池剂除去悬浊液物 什么是臭氧促使氧化物:可分解难可分解可挥发物 反固化系统性:脱盐率>98%,产水回收于分娩线 污泥处理处理系统化 : 工业废水果汁池:气体有机废气浓度从1%加强至3% 离心式缺水:加入到PAM条理,泥饼水分含量率<75% 温度干化:地方生活污水干化至水分含量率30%低于 进而效果好 创业项目建设完工执行后,哪项统计指标稳固符合条件:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阴阳离子<0.3mg/L、pH 6-9。行业废水处理水饮使用水质起到GB/T 19923-2005行业使用水条件,行业废水处理率65%,每月避免浪费鲜活水使用约130万吨。淤泥产生了量抑制40%,安全风险垃圾防范生产成本拉低35%。系統手动化情况高,在线视频监测技术数据信息与环境保护部位实时时间登陆。

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