该晶圆研制厂为于华南东南部,注意种植85英寸半导体行业晶圆,单日污水直接用到量下跌约800吨。基于种植的时候中用到大批氢佛酸开始晶圆蚀刻,引起污硫酸铜溶液氟化物渗透压高达mg200-300mg/L,远超国家地区直接排放出原则(10mg/L一下)。
废水处理工艺组分及收入
废液具体源自4个环节:
晶圆蚀刻制作工艺
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸钠及小量巨资属
电学机械厂拋光(CMP)废水处理工艺
:含纳米级级硅颗料、有机肥料络合剂
生产设备擦拭化工废水
:含异丙醇、挥发酚等设计物
办理艺环节
通过"药剂学沉淀自己自己+混泥土沉淀自己自己+纵深活性炭过滤"三级分销治理设备:
1级操作
:加药氯化钙和氢空气氧化钙,形成了氟化钙沉垫,氟化物我们要除率达85%
二级考试补救
:调用PAC(汇聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),彻底清除橡胶胶体部分态环境破坏物
两级加工
:按照多导电介质进行过滤网和渗透性炭过滤,喷水氟化物酸度稳定性高在8mg/L下面的
核心机涉及:pH自主控制控制系统、斜管结晶池、板框设备(生活污水过滤)。
以后作用
创业项目电脑运行五年期污染监测信息提示 :
氟化物峰值溶液浓度:7.2mg/L(低过发展中国家细则)
COD清掉率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副產品约150吨,实现了资源量化利用率