该厂为8厘米晶圆生产销售线配套工程的超软水系统软件，天天有含硅污水150吨。污水面虽无巨资属，但硅水分含量高易积垢，且电阻功率率需高达18MΩ·cm就能中水回用。原来的外理工学院艺始终无法 充分满足新颁布实施的《微电子工艺水废弃物物直接的排放规范》（GB39731-2020）相当直接的排放卫生防护距离。 生活污水因素优点 核心的固体废弃物 ：溶液硅（200-300mg/L）、粒子硅（孔径0.1-1μm） 特色规范要求 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 水质量特征 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机化合物型态多样化 加工处理工艺设计的流程 自主创新进行"梯级膜分开+电去阴离子"组合构成加工过程： 微滤预进行处理 ：1μm陶瓷制品膜电话拦截大颗粒剂硅，通量达到80LMH 铝离子置换环氧树脂 ：D201大孔树酯的可选择性气体吸附硅酸分子式 二次RO设备 ：首个段环保再生资源回成品率60%，第二点段选用高脱硼膜组件 EDI电去阴离子 ：电压孔隙率2A/m²，坚持弄掉残渣阴阳离子 UV紫外线杀菌消毒 ：254nm红外光谱线药量40mJ/cm² 技能突出 開發专用工具阻硅剂（生产胺类挽回物），廷迟膜污染源周期时间3倍 EDI输出模块革新流道设计的，硅出掉率上升至99.8% 在线播放硅分折仪（侧量区域0.1-500μg/L）把控精确把控 工作举措 经然后方查测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼份量从8μg/L减至0.3μg/L 系统环保再生资源回产出率从原40%大幅提升至68% 膜换个时间段拉长至5年，年操作料工费变低35%