某半导加工制造公司企业因晶圆除污步骤形成含氨电镀废水，用水量200吨/天。电镀废水里除高锰酸盐指数外还带有氟化物和微量分析巨资属，外理高难度大。内地的排放标规范高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污水组分及特征 晶圆难以清理生产废水（一般种类）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀程序废液：含氢化物发生器铜、镍等高价属，pH值下跌大 CMP考虑废污水：含硅粒状及挥发酚 治疗生产生产流程图图 应用"催化发展+膜分离处理+折点氯化"结合流程： 预进行处理 ：加药系统CaCl2除氟，控制pH在7.5-8. 反渗透装置体系 ：洗去0.01μm这些粒状物 反侵入高浓 ：将化学需氧量沉淀至1000mg/L以下 折点氯化 ：明确控住氯污泥脱水量，将氯离子转化率为氢气 阳离子对调 ：得到保障高价属标准 从而感觉 高锰酸盐指数稳定的＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属占比低过查测限 水使用率达75% 污水生成量削减40%